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P32三維θxθyZ向壓電偏轉(zhuǎn)鏡 6mrad 37.5μm$n壓電偏轉(zhuǎn)鏡是以壓電陶瓷作為驅(qū)動元件，內(nèi)部采用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向結(jié)構(gòu)設(shè)計，外部機械結(jié)構(gòu)通過內(nèi)部多支壓電陶瓷的伸縮來實現(xiàn)單軸或多軸角度偏轉(zhuǎn)運動，補償量小，偏轉(zhuǎn)鏡具有較好的運動精度和高穩(wěn)定性，通過內(nèi)置高精度傳感器進(jìn)行閉環(huán)控制，實現(xiàn)亞微弧度分辨率及微弧度定位精度。《查看更多》