芯明天推出P18大行程壓電納米定位臺(tái)，運(yùn)動(dòng)范圍Z大可達(dá)1.1mm
更新時(shí)間： 2018-05-21
P18系列是基于壓電驅(qū)動(dòng)的納米定位平臺(tái)，它的特點(diǎn)是體積緊湊、外形超薄，對(duì)于X向200微米運(yùn)動(dòng)版本的尺寸僅為100 x 100 x 15mm，X向zui大行程可達(dá)1.1mm，對(duì)應(yīng)外形尺寸為100 x 100 x 44mm。中心具有直徑35mm的通孔，非常適于顯微或掃描應(yīng)用中的樣品定位。
P18壓電納米定位臺(tái)內(nèi)部由高性能壓電疊堆陶瓷驅(qū)動(dòng)，具有響應(yīng)速度快、分辨率高、承載力大等特點(diǎn)，zui大承載達(dá)3.5kg，空載諧振頻率達(dá)600Hz，配套芯明天大功率控制器響應(yīng)時(shí)間zui高可達(dá)5ms，是精密加工、半導(dǎo)體制造、掃描顯微等應(yīng)用的理想選擇，也適用于一至三維的精密掃描定位應(yīng)用。
P18系列產(chǎn)品特點(diǎn)
◎ X、XY、XYZ多種運(yùn)動(dòng)方向可選；
◎ 體積緊湊：長(zhǎng)100×寬100mm；
◎ 多種標(biāo)稱行程可選：
280μm、370(或±185)μm、740μm、1110μm；
◎ 中心通孔尺寸：Ø35mm；
◎ 納米級(jí)定位精度；
◎ 高性能壓電促動(dòng)器驅(qū)動(dòng)，使用壽命長(zhǎng)；
頻率負(fù)載曲線及優(yōu)異的導(dǎo)向設(shè)計(jì)
P18頻率負(fù)載曲線示意圖：
優(yōu)異的導(dǎo)向設(shè)計(jì)：
通過有限元分析的撓曲鉸鏈機(jī)構(gòu)用于緊湊的壓電平臺(tái)。因其柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)為*自由、無摩擦的，無論多么微小的距離，撓曲鉸鏈都能夠達(dá)到*的運(yùn)動(dòng)精度。同時(shí)，也將運(yùn)動(dòng)方向的剛度進(jìn)行了優(yōu)化。
伺服控制定位，納米級(jí)分辨率
高分辨率、高帶寬的應(yīng)變傳感器（SGS）裝配于驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的zui恰當(dāng)?shù)奈恢茫靡灾苯訙y(cè)量平臺(tái)移動(dòng)部件的位移。SGS傳感器確保了zui適宜的定位穩(wěn)定性，精度在納米范圍，且響應(yīng)速度快。
開環(huán)版本對(duì)于要求快速響應(yīng)及非常高分辨率但定位不重要的應(yīng)用是非常理想的。
開環(huán)版本也適用于使用外部直線定位傳感器的應(yīng)用，外部傳感器如干涉儀，PSD（位置敏感傳感器），CCD片/成像處理系統(tǒng)，或操作員的眼手配合調(diào)節(jié)。
P18.X一維開環(huán)曲線
P18系列產(chǎn)品運(yùn)動(dòng)方式
P18系列壓電納米定位臺(tái)可產(chǎn)生一維X向運(yùn)動(dòng)，也可組合形成XY二維或XYZ三維運(yùn)動(dòng)。位移行程從0μm至1.1mm范圍可選。
P18.X一維運(yùn)動(dòng)方式
P18高性能壓電促動(dòng)器保證使用壽命長(zhǎng)
通過高性能多層壓電促動(dòng)器可保證zui高的可靠性。芯明天促動(dòng)器外部的絕緣性使其可抵御環(huán)境的濕度及漏流風(fēng)險(xiǎn)。可靠性及壽命遠(yuǎn)優(yōu)于傳感促動(dòng)器。
P18系列1-3維掃描臺(tái)，多種行程可選
P18系列壓電掃描臺(tái)包括X/XY/XYZ三種結(jié)構(gòu)形式，可以滿足1~3維大行程掃描或定位的應(yīng)用需求。
Δ 一維X向運(yùn)動(dòng)可選行程：
280μm、370（或±185）μm、740μm、1110μm；
Δ 二維XY向運(yùn)動(dòng)可選行程：
280μm、370（或±185）μm；
Δ 三維XYZ向運(yùn)動(dòng)行程：
280μm；
典型應(yīng)用/Applications
| • 圖像處理與穩(wěn)定 | • 掃描顯微 |
| • 干涉計(jì)量 | • 表面檢測(cè) |
| • 半導(dǎo)體測(cè)量 | • 光學(xué)計(jì)量 |
P18系統(tǒng)產(chǎn)品部分參數(shù)
P18部分參數(shù)（尾綴S:閉環(huán)；尾綴K：開環(huán)）
型號(hào) | P18.X200S | P18.X600S | P18.X900S | 單位 |
運(yùn)動(dòng)自由度 | X | X | X |
|
標(biāo)稱行程范圍 | 200 | 600 | 900 | µm |
zui大行程范圍 | 280 | 740 | 1110 | µm |
傳感器類型 | SGS/- | SGS/- | SGS/- |
|
分辨率 | 8/5 | 15/5 | 25/5 | nm |
線性度 | 0.2/- | 0.25/- | 0.4/- | %F.S. |
重復(fù)定位精度 | 0.15/- | 0.15/- | 0.2/- | %F.S. |
推/拉力 | 60/20 | 150/150 | 90/90 | N |
剛度 | 0.3 | 0.3 | 0.1 | N/µm |
空載諧振頻率 | 0.5 | 0.3 | 0.12 | kHz |
承載能力 | 2 | 2 | 1 | Kg |
靜電容量 | 11 | 42 | 63 | μF |
重量 | 200 | 380 | 600 | g |
高 | 15 | 29.5 | 44 | mm |
長(zhǎng)×寬 | 100×100 | mm | ||
通孔 | Ø35 | mm | ||
工作溫度范圍 | -20~80 | °C | ||
材質(zhì) | 鋁 |
| ||
出線長(zhǎng) | 1.5 | m | ||
傳感/電壓連接器*** | LEMO |
| ||
應(yīng)用實(shí)例-納米光刻
在納米光刻實(shí)驗(yàn)中需要對(duì)鏡片進(jìn)行高速微納米級(jí)的精密移動(dòng)，從而優(yōu)化鏡片讀取的信息。芯明天P18.XY300以其大位移、高精度、高穩(wěn)定性等優(yōu)點(diǎn)應(yīng)用于納米光刻，匹配芯明天E01.D3壓電控制器使用，可達(dá)到較好的位移、精度等性能。
推薦配套驅(qū)動(dòng)器與控制器
E01.D3（尺寸：280×170×360mm）
E70（尺寸：240×60×140mm）
E72.S3（尺寸：116×77.5×100mm）
17051647888
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