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顯微光學成像是指透過樣品或從樣品反射回來的可見光，通過一個或多個透鏡后，能夠得到微小樣品的放大圖像的技術，其中大行程、高精度機構放大式壓電促動器可帶動樣品做Z向超精密運動，可使觀測精度達到納米級。

機構放大式壓電促動器是一種通過機械放大結構將預載的低壓壓電陶瓷疊堆產生的位移進行放大并垂直輸出的促動器。

機械放大結構為橢圓形機械殼體，它的材料一般為鋼，它對壓電疊堆陶瓷除了提供優化預緊力外，也對疊堆陶瓷起到保護作用，使其免于承受拉力，拉力對壓電疊堆陶瓷會產生不可逆甚至致命的損壞。橢圓機械放大結構也為用戶提供了易于集成的機械接口。

技術參數

型號：P06.X500R

位移行程：560μm

運動方向出力：100N

剛度：0.25N/μm

靜電容量：10.8μF

空載諧振頻率：170Hz

開環曲線

典型應用

• 探針掃描

• 光開關、快門/快門防抖

• 激光腔調諧

• 光纖拉伸

• 器件疲勞度監測

• 測流技術

• 液滴發生器

推薦控制器

可配套芯明天單通道小體積E53系列壓電控制器，實現Z向高精度定位控制。