高精度壓電旋轉(zhuǎn)臺用于電子器件無損檢測
光學(xué)微掃描顯微成像系統(tǒng)以其檢測速度快、精度高等特點受到廣泛關(guān)注。其原理是在系統(tǒng)中加入高精度壓電旋轉(zhuǎn)平臺，使顯微熱圖像在四個依次相差90°的傾斜角條件下采集采樣圖像，形成微掃描模式，顯微成像處理系統(tǒng)通過與獲取微掃描圖像相同的方式交叉融合形成采樣圖像。
其中高精度壓電旋轉(zhuǎn)平臺以其旋轉(zhuǎn)角度大、精度高、響應(yīng)速度快等特點，成為該系統(tǒng)中的核心器件。
芯明天P21為一維θz 壓電旋轉(zhuǎn)臺，產(chǎn)品體積小巧，大旋轉(zhuǎn)角度7.5mrad，承載能力達0.1kg，可帶動鏡片做精密旋轉(zhuǎn)運動。
P21一維旋轉(zhuǎn)臺采用機構(gòu)放大設(shè)計原理，體積小巧、結(jié)構(gòu)緊湊，尺寸僅為60×60×15mm，非常易于集成到精密旋轉(zhuǎn)設(shè)備中。采用壓電陶瓷作為驅(qū)動元件，臺體采用柔性鉸鏈機構(gòu)，無摩擦、無回差，可以實現(xiàn)0.2μrad的分辨率。內(nèi)置SGS傳感器配套閉環(huán)控制器可以實現(xiàn)微弧度的定位精度，在光路精密角度調(diào)整中起著非常重要的作用。
技術(shù)參數(shù)
型號：P21.R7
運動自由度：θz
旋轉(zhuǎn)角度(0~120V)：6mrad（≈1240”）
旋轉(zhuǎn)角度(0~150V)：7.5mrad（≈1500”）
閉環(huán)傳感器：SGS
閉/ 開環(huán)分辨率：0.4/0.2μrad
閉環(huán)線性度：0.5%F.S.
閉環(huán)重復(fù)定位精度：0.2%F.S.
推/拉力：10/5N
運動方向剛度：1 N/μm
空載諧振頻率：1.1kHz
閉/開環(huán)空載階躍時間：30/1.5ms
承載能力：0.1kg
靜電容量：1.8μF
材質(zhì)：鋁
重量：105g
17051647888
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